淨化工程(無塵室)是一項(xiàng)應用非常(cháng)廣泛的基礎配套產業,目前(qián)在(zài)食品、化妝品、生物(wù)製藥、醫療器械(xiè)、電(diàn)子信息(xī)、半導體、精密製造、航(háng)空航天、汽車塗裝等許(xǔ)多行業都有應用,在等級上也有很大的差異。淨化工程專門設計的房間具有保溫、保濕、保潔、保(bǎo)壓等(děng)功能。不管外麵的空氣狀況如何變化。因此在淨化工程(潔淨室)上造(zào)價的影響因素也有很多方麵。
潔淨室的溫度和濕度主要根據工藝要求(qiú)確定,但在滿足工藝要求的情況下,應考慮人體舒(shū)適度。隨(suí)著空氣潔淨度要(yào)求的(de)提高(gāo),工藝的溫濕度要求有(yǒu)越來越嚴格的趨勢。隨著加工精度越來越高,對溫度波動範(fàn)圍的要求也越來(lái)越小。直徑為100 um的矽片(piàn),溫度上(shàng)升1度時(shí),線膨脹為0.24um,所以必須(xū)保持0.1度的恒溫,濕度值一般較(jiào)低,因為人出汗後會汙染產品,特別是半導體車間怕鈉,不宜超過25度。濕度過大會(huì)導致更多問題。當相對濕度超(chāo)過55%時,冷卻水管壁會發生冷凝,如果發生(shēng)在精密器(qì)件或電路中,會造成各種事故。當(dāng)相對濕度為時,容易生(shēng)鏽。另外,濕度過高時,粘附在矽片表麵的灰塵會被空氣中(zhōng)的水分子化學吸附(fù),難以(yǐ)去除。相對濕度越高,越難去除粘連(lián)。然而,當相(xiàng)對濕度低於30%時,由於靜電力,顆粒容易吸附在表麵上,並且大(dà)量半導體器件(jiàn)易於擊穿。